臭氧氧化法脫硝主要是利用臭氧的強氧化性，將不可溶的低價態(tài)氮氧化物氧化為可溶的高價態(tài)氮氧化物，然后在洗滌塔內將氮氧化物吸收，達到脫除的目的。該脫硝系統在不同的NOx等污染物濃度和比例下，可以同時高效率脫除煙氣中的NOx、SO2和顆粒物等污染物，同時還不影響其他污染物控制技術。脫硝效率高于90%以上，是傳統脫硝技術的一個高效替代新技術。

這一方法的優(yōu)點是：
1、不需對鍋爐系統進行改造；
2、對鍋爐運行和效率沒有影響；
3、對反應區(qū)域溫度不敏感；
4、反應溫度范圍大；
5、吸收在脫硫塔內完成；
6、脫硝效率高大于90%；
7、操作范圍廣便于控制；
8、操作簡單，運行安全可靠。
9、可根據檢測系統反饋的NOX濃度自動調節(jié)臭氧的噴射量。
10、尤其對于負荷變化大、NOX排放濃度較低的鍋爐。尤其是已有濕法脫硫裝置的鍋爐脫硝改造，實現脫硫脫硝一體化應用。